1、不同終端廠家對(duì)產(chǎn)品缺陷限度要求不同。

2、不同終端廠家對(duì)不同缺陷種類的限度要求不同。

3、被檢產(chǎn)品型號(hào)多、工藝不同，針對(duì)不同型號(hào)不同工藝所產(chǎn)生的缺陷種類有差別，重點(diǎn)檢測(cè)的缺陷類型有區(qū)別。

4、客戶可提供的樣品有限，需要使用較少的樣品得到針對(duì)不同型號(hào)不同工藝的不同被檢產(chǎn)品的對(duì)應(yīng)預(yù)測(cè)模型。

5、不同缺陷均有尺寸、面積、灰度值、輪廓、與臨近點(diǎn)構(gòu)成的離散幾何關(guān)系等可數(shù)值化的重要特征，可使用較少的特征數(shù)量定義缺陷。

 6、通過合適的學(xué)習(xí)算法以及合適的樣本數(shù)量，可以得到針對(duì)單個(gè)缺陷的95%以上的預(yù)測(cè)精度，其中，FSL算法85%的數(shù)據(jù)可以得到99%以上的預(yù)測(cè)精度，15%的數(shù)據(jù)可以得到70%左右的預(yù)測(cè)精度